Microlithography: process technology for IC fabrication

Microlithography: process technology for IC fabrication

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Auteur principal: ELLIOTT, David J
Format: Livre
Langue:English
Publié: New York McGraw-Hill 1986
Sujets:
MIKROLITHOGRAFI, MIKROELEKTRONIK
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Électronique

Digital copy available Disponible
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Campus A

Informations d'exemplaires de Campus A
Cote: P150.1816
Prefix: 2 J188.5509
Prefix: 2 M516.7318
Prefix: 6 J464.6817
Y703.1726
Notes: Item 1 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 1 holdings note 2
Item 1 holdings note 3
Item 6 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 6 holdings note 2
Item 10 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 10 holdings note 2
Item 13 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 14 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Indications des volumes: Item 1 summary 1
Item 6 summary 1
Item 6 summary 2
Item 6 summary 3
Item 10 summary 1
Item 10 summary 2
Item 10 summary 3
Item 13 summary 1
Item 13 summary 2
Item 13 summary 3
Item 14 summary 1
Exemplaire 1 (volume 1, issue 1) Uncertain Réserver
Notes:
  • Item 1 note 1
  • Item 1 note 2
  • Item 1 note 3
Exemplaire 6 (volume 2, issue 2) Item in Library Réserver
Notes:
  • Item 6 note 1
  • Item 6 note 2
Exemplaire 10 (volume 3, issue 2) Item in Library Réserver
Notes:
  • Item 10 note 1
  • Item 10 note 2
Exemplaire 13 (volume 4, issue 1) Mis en réserve - Contactez la bibliothèque
Item in Library Réserver
Notes:
  • Item 13 note 1
Exemplaire 14 (volume 4, issue 2) Mis en réserve - Contactez la bibliothèque
Disponible Réserver
Notes:
  • Item 14 note 1

Campus B

Informations d'exemplaires de Campus B
Cote: C471.765
Prefix: 3 M377.9084
Y308.765
Notes: Item 2 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 4 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 12 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 12 holdings note 2
Indications des volumes: Item 2 summary 1
Item 2 summary 2
Item 4 summary 1
Item 4 summary 2
Item 12 summary 1
Item 12 summary 2
Exemplaire 2 (volume 1, issue 2) Disponible Réserver
Notes:
  • Item 2 note 1
Exemplaire 4 (volume 2, issue 0) Invoiced Rappeler
Notes:
  • Item 4 note 1
Exemplaire 12 (volume 4, issue 0) Disponible Réserver
Notes:
  • Item 12 note 1
  • Item 12 note 2

Campus C

Informations d'exemplaires de Campus C
Cote: D633.4098
Prefix: 6 J607.7368
Notes: Item 3 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 7 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 7 holdings note 2
Indications des volumes: Item 3 summary 1
Item 7 summary 1
Exemplaire 3 (volume 1, issue 3) Item in Library Réserver
Notes:
  • Item 3 note 1
Exemplaire 7 (volume 2, issue 3) Item in Library Réserver
Notes:
  • Item 7 note 1
  • Item 7 note 2

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