Microlithography: process technology for IC fabrication

Microlithography: process technology for IC fabrication

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Auteur principal: ELLIOTT, David J
Format: Livre
Langue:English
Publié: New York McGraw-Hill 1986
Sujets:
MIKROLITHOGRAFI, MIKROELEKTRONIK
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Électronique

Electronic Journals Available from 2015
Digital copy available Disponible
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Campus B

Informations d'exemplaires de Campus B
Cote: Prefix: 2 U638.5047
T688.9344
W440.3695
Notes: Item 3 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 3 holdings note 2
Item 5 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 5 holdings note 2
Item 7 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 7 holdings note 2
Indications des volumes: Item 3 summary 1
Item 5 summary 1
Item 7 summary 1
Exemplaire 3 (volume 1, issue 3) Mis en réserve - Contactez la bibliothèque
Uncertain Réserver
Notes:
  • Item 3 note 1
  • Item 3 note 2
Exemplaire 5 (volume 2, issue 1) Disponible Réserver
Notes:
  • Item 5 note 1
  • Item 5 note 2
Exemplaire 7 (volume 2, issue 3) Mis en réserve - Contactez la bibliothèque
Disponible Réserver
Notes:
  • Item 7 note 1
  • Item 7 note 2

Campus A

Informations d'exemplaires de Campus A
Cote: Prefix: 2 U685.6864
Notes: Item 6 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 6 holdings note 2
Item 6 holdings note 3
Indications des volumes: Item 6 summary 1
Exemplaire 6 (volume 2, issue 2) Invoiced Rappeler
Notes:
  • Item 6 note 1
  • Item 6 note 2
  • Item 6 note 3

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