Microlithography: process technology for IC fabrication

Microlithography: process technology for IC fabrication

Sparad:
Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: ELLIOTT, David J
Materialtyp: Bok
Språk:English
Publicerad: New York McGraw-Hill 1986
Ämnen:
MIKROLITHOGRAFI, MIKROELEKTRONIK
Taggar: Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!

Elektronisk

Digital copy available Tillgänglig
Electronic Journals Available from 2011
Electronic Journals Available from 2014
Digital copy available Tillgänglig
Digital copy available Tillgänglig
Digital copy available Tillgänglig
Electronic Journals Available from 2016
Digital copy available Tillgänglig

Campus A

Beståndsuppgifter i Campus A
Signum: H313.3153
O442.9617
Anmärkningar: Item 3 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 12 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 12 holdings note 2
Tillgängliga nummer: Item 3 summary 1
Item 3 summary 2
Item 3 summary 3
Item 12 summary 1
Item 12 summary 2
Exemplar 3 (volume 1, issue 3) Tillgänglig Reservera
Anmärkningar:
  • Item 3 note 1
Exemplar 12 (volume 4, issue 0) Item in Library Reservera
Anmärkningar:
  • Item 12 note 1
  • Item 12 note 2

Campus C

Beståndsuppgifter i Campus C
Signum: Prefix: 5 T792.5153
Prefix: 8 J628.1351
Anmärkningar: Item 4 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 9 holdings note 1 https://vufind.org/?f=1&b=2#sample_link
Item 9 holdings note 2
Tillgängliga nummer: Item 4 summary 1
Item 4 summary 2
Item 4 summary 3
Item 9 summary 1
Item 9 summary 2
Item 9 summary 3
Exemplar 4 (volume 2, issue 0) Item in Library Reservera
Anmärkningar:
  • Item 4 note 1
Exemplar 9 (volume 3, issue 1) Item in Library Reservera
Anmärkningar:
  • Item 9 note 1
  • Item 9 note 2

Senast inkomna nummer

issue 1
issue 2

Liknande verk