Microlithography: process technology for IC fabrication
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Format: | Knjiga |
| Jezik: | English |
| Izdano: |
New York
McGraw-Hill
1986
|
| Teme: | |
| Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
| Opis fizičkog objekta: | xix, 378 p.; bib.; ill.; ind.; 23 cm |
|---|---|
| ISBN: | 0070193045 |