ELLIOTT, D. J. (1986). Microlithography: Process technology for IC fabrication. McGraw-Hill.
Chicago Style (17. basım) AtıfELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. New York: McGraw-Hill, 1986.
MLA (9th ed.) AtıfELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. McGraw-Hill, 1986.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..