ELLIOTT, D. J. (1986). Microlithography: Process technology for IC fabrication. McGraw-Hill.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)ELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. New York: McGraw-Hill, 1986.
Цитирование MLA (9-е изд.)ELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. McGraw-Hill, 1986.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.