ELLIOTT, D. J. (1986). Microlithography: Process technology for IC fabrication. McGraw-Hill.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)ELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. New York: McGraw-Hill, 1986.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)ELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. McGraw-Hill, 1986.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..