ELLIOTT, D. J. (1986). Microlithography: Process technology for IC fabrication. McGraw-Hill.
Chicago-viite (17. p.)ELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. New York: McGraw-Hill, 1986.
MLA-viite (9. p.)ELLIOTT, David J. Microlithography: Process Technology for IC Fabrication. McGraw-Hill, 1986.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.